特許

J-GLOBAL ID：200903094256234408

追尾式レーザ干渉計の出力安定化方法および追尾式レーザ干渉計

発明者： 谷中 慎一郎 ,  武富 尚之
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (3件)： 高矢 諭 ,  松山 圭佑 ,  牧野 剛博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-315836
公開番号（公開出願番号）：特開2008-128899
出願日： 2006年11月22日
公開日（公表日）： 2008年06月05日
要約：

【課題】変位の測定にホモダイン式のレーザ干渉計を使用した追尾式レーザ干渉計における、トラッキングエラーが増加すると変位の測定とSN比が低下するという問題点を解決する。【解決手段】レトロリフレクタ108に入射するレーザビームの光軸と、レトロリフレクタ108の中心位置との間の距離をトラッキングエラー量ΔTrとして検出し、検出されたトラッキングエラー量ΔTrから、干渉計107で変位の測定に用いるリサージュ信号の振幅を一定に保つためのレーザビームの光量の調整量を求め、前記トラッキングエラー量ΔTrに応じて、レーザビーム光量を調整する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

被測定体であるレトロリフレクタに向けて照射し、該レトロリフレクタによって戻り方向に反射されたレーザビームの干渉を利用して得たリサージュ信号を用いて、レトロリフレクタの変位を検出すると共に、前記レーザビームの光軸の位置の変化を用いてトラッキングを行うようにした追尾式レーザ干渉計において、 前記レトロリフレクタに入射するレーザビームの光軸と、レトロリフレクタの中心位置との間の距離をトラッキングエラー量として検出し、 検出されたトラッキングエラー量から、前記リサージュ信号の振幅を一定に保つためのレーザビーム光量の調整量を求め、 前記トラッキングエラー量に応じて、レーザビーム光量を調整することを特徴とする追尾式レーザ干渉計の出力安定化方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B9/02 ,  G01B11/00 G

Fターム (19件)：

2F064AA01 ,  2F064CC01 ,  2F064EE01 ,  2F064FF01 ,  2F064GG41 ,  2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065BB15 ,  2F065BB25 ,  2F065CC21 ,  2F065DD04 ,  2F065FF28 ,  2F065FF55 ,  2F065GG04 ,  2F065LL24 ,  2F065LL25 ,  2F065NN03 ,  2F065NN16 ,  2F065QQ25

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特許第2603429号公報
  
• 米国特許第6147748号明細書