特許
J-GLOBAL ID：200903094260821075
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-237829
公開番号（公開出願番号）：特開平5-074687
出願日： 1991年09月18日
公開日（公表日）： 1993年03月26日
要約：
【要約】【目的】照明系と投影レンズマッチングの状態を継続的に確認することにより安定した結像性能を得る。【構成】超高圧水銀灯1,楕円面鏡2,ロッドレンズ群3,アパーチャ4,コンデンサレンズ5から構成される照明系と投影レンズ7とで構成される投影露光装置に於いて、原画面6の任意の一点を通過する光を投影レンズ7の入射瞳面7aと等価位置を2次元光電センサでスキャンすることにより、照明σ,入射瞳上照度分布,照明光軸傾斜を測定可能とし、安定した結像性能が得られる投影露光装置。
請求項（抜粋）：
超高圧水銀灯を光源とし、該光源の輝線スペクトルを使用し、ロッドレンズ群,コンデンサレンズにより原画面を均一に照射する照明光学系及び照明光の可干渉性を変化させる手段としてロッドレンズ群出射側に設けたアパーチャを含む面(二次光源面)を投影レンズ入射瞳面に結像させる露光々学系において、二次光源像の光強度分布及び像の形状寸法を測定する手段を具備し、これらの情報を任意にモニタリング出来る構成としたことを特徴とする投影露光装置。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
