特許
J-GLOBAL ID：200903094263142810
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-363129
公開番号（公開出願番号）：特開平11-174066
出願日： 1997年12月15日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：
【要約】【課題】 試料表面の凸部又は凹部の側面等に関しても、高精度な測定を行う。【解決手段】 振動子14によって、プローブ1のカンチレバー部3が撓み振動を起こし、プローブ1の探針部2が実質的にZ方向に振動する。振動子15によって、カンチレバー部3がねじれ振動を起こし、探針部2が実質的にX方向に振動する。カンチレバー部3の撓み振動の成分の振動状態及びカンチレバー部3のねじれ振動の成分の振動状態が、4分割フォトダイオード18により検出される。DSP26は、検出されたプローブ1の撓み振動及びねじれ振動の振動状態が所定状態となるようにプローブ1の移動方向を変え、当該移動方向にプローブ1を移動させるようにX,Y,Z方向用圧電駆動部材10,11,8を制御する。
請求項（抜粋）：
プローブと、前記プローブと試料表面とを相対的に前記試料表面と略垂直な第1の方向及び前記試料表面と略平行な第2の方向に移動させるプローブ駆動部と、前記プローブを励振するための励振部材と、前記プローブの振動状態を検出する検出手段と、前記検出手段で検出されたプローブの振動状態が所定の振動状態になるように前記プローブの移動方向を変え、前記移動方向に前記プローブを移動させるよう前記プローブ駆動部を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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