特許
J-GLOBAL ID：200903094264880246
圧電センサー及び感知装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-135920
公開番号（公開出願番号）：特開2009-281939
出願日： 2008年05月23日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】感度の点では不利な低周波数例えば9MHzを用いても、感知対象物を高感度で感知できる圧電センサーを提供すること。【解決手段】水晶片11上に形成される励振電極12aの表面を、感知物質である抗体の一分子の少なくとも10倍以上の大きさを持った研削粒子を用いて例えば砥粒を用いた研削処理やブラスト加工を行うことで粗面化し、この励振電極12aの上に前記抗原を捕捉する抗体を付着させて圧電センサーを構成する。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
圧電片上に形成された電極上に感知物質を付着させ、この感知物質に感知対象物が吸着したことによる圧電片の固有振動数の変化に基づいて感知対象物を感知するための圧電センサーにおいて、
前記電極の表面における感知物質の付着量を増大させるために当該電極の表面が粗面化処理されていることを特徴とする圧電センサー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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