特許
J-GLOBAL ID：200903094280102296
ペリクルのフォトマスクへの貼着構造
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小島 隆司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-228580
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054424
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【解決手段】 ペリクルフレームの一端面にペリクル膜を張設したペリクルの上記フレーム他端面を粘着剤層を介してフォトマスクに貼着してなるペリクルのフォトマスクへの貼着構造において、上記粘着剤層に外方に突出する粘着剤層抜き取り用把持部を突設したことを特徴とするペリクルのフォトマスクへの貼着構造。【効果】 本発明によれば、ペリクルをフォトマスクからフォトマスクを傷付けたり汚染することなく容易に除去することができる。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームの一端面にペリクル膜を張設したペリクルの上記フレーム他端面を粘着剤層を介してフォトマスクに貼着してなるペリクルのフォトマスクへの貼着構造において、上記粘着剤層に外方に突出する粘着剤層抜き取り用把持部を突設したことを特徴とするペリクルのフォトマスクへの貼着構造。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 1/14 J
, H01L 21/30 502 P
