特許

J-GLOBAL ID：200903094281522469

ベローズ装置

発明者： 佐伯 弘明 ,  池田 亨
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-034170
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206226
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】 複数のベローズによりこれらの収縮力を相互に打ち消すようにする。【構成】 電子顕微鏡12の試料室36のような真空室とロードロック室10や真空状態になされる処理装置6の真空室とを連通するベローズ装置2において、第1ベローズ54により上記2つの真空室を連通し、この第1ベローズ54の両端に第1ベローズ54の長さ方向へ屈曲させて交差させるごとく第1及び第2支持アーム56,58を形成する。そして、これら第1及び第2支持アーム56,58の端部同士間に渡って2つの第2ベローズ66,68を設置すると共に、これら第1及び第2ベローズ54,66,68間を連通路56D,58Dにより連通する。これにより、例えば第1ベローズ54が収縮するときには第2ベローズ66,68に伸長力が作用し、これらの力が打ち消される。

請求項（抜粋）：

減圧雰囲気になされた第1の真空室と第2の真空室とを連通するベローズ装置において、前記第1及び第2の真空室を通気可能に連通する第1ベローズと、前記第1ベローズに対して並設された少なくとも2つの第2ベローズと、前記第1ベローズの一端部と前記第2ベローズの反対側の一端部とを連結する前記第1の真空室に固定された第1支持アームと、前記第1ベローズの他端部と前記第2ベローズの他端部とを連結する前記第2の真空室に固定された第2支持アームと、前記第1及び第2の真空室と前記第2ベローズで囲まれた空間とを連通する連通路とを、備えるように構成したことを特徴とするベローズ装置。