特許

J-GLOBAL ID：200903094296126209

ウエハ載置台とチャックハンドの構造

発明者： 井部 伸吾
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-172167
公開番号（公開出願番号）：特開平7-007068
出願日： 1993年06月18日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：

【要約】【目的】 ウエハに歪みを生ぜず、またウエハのサイズによる部品交換を必要としないウエハ載置台と、これに適合するチャックハンドを提供する。【構成】 ウエハ載置台5は、適当な直径の中心孔5b を有する外周シリンダ5a と、中心孔5b に緩く嵌挿された中心軸5c とよりなり、外周シリンダ5a の上端面を載置面5aM、中心軸の上端面を中継面5cMとし、載置面5aMには複数のエア吸着孔52を配設する。中継面5cMには必要に応じてエア吸着孔52を設ける。また、外周シリンダ5a または中心軸5c は、図示しない昇降機構により相手に対してZ昇降できるように構成する。次にチャックハンド1は、先端に、内径が中心軸5c の直径よりやや大きい、図示のU字形の吸着部1a を取り付けて構成される。U字形には上向きにエア吸着孔11を必要数だけ設ける。【効果】 目的が達成される。

請求項（抜粋）：

ウエハの下面をチャックハンドによりチャックし、水平方向に搬送して垂直方向に下降し、ウエハ載置台に載置するロボット機構のウエハハンドリングにおいて、該ウエハ載置台は、上端面を前記ウエハの載置面とし、該載置面にエア吸着孔が配設された外周シリンダと、該外周シリンダの中心孔に緩く嵌挿され、上端面を前記ウエハの中継面とする貫通軸とにより構成され、該外周シリンダまたは該貫通軸の一方を他方に対して昇降可能とし、かつ、前記チャックハンドは、エア吸着孔を有し、前記貫通軸の外周に沿ったU字形をなす吸着部により構成されことを特徴とする、ウエハ載置台とチャックハンドの構造。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06 ,  B65G 49/07