特許
J-GLOBAL ID:200903094302515875
ピーラー
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
土井 育郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-095231
公開番号(公開出願番号):特開平11-278743
出願日: 1998年03月25日
公開日(公表日): 1999年10月12日
要約:
【要約】【課題】 コンパクトな装置構成のピーラーを提供する。【解決手段】 上下に往復動する揺動ヘッド8を備えた剥離ユニット2と、この剥離ユニット2を上下方向及び水平方向に移動させる手段とで構成し、揺動ヘッド8には、基板に貼着したカバーフィルムの端部を剥離するための粘着テープ9と、剥離したフィルム端部を掴むツメ17とを具備させる。基板を停止したままでカバーフィルムを剥離するので、実際の装置長は、基板サイズを一回り大きくした程度で済むことから、大型基板を取り扱う装置であっても、コンパクトな装置構成で対応できる。
請求項(抜粋):
上下に往復動する揺動ヘッドを備えた剥離ユニットと、この剥離ユニットを上下方向及び水平方向に移動させる手段とからなり、前記揺動ヘッドは、基板に貼着したカバーフィルムの端部をくっ付けて剥離するための粘着テープと、剥離したフィルム端部を掴むためのツメとを具備したことを特徴とするピーラー。
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