特許

J-GLOBAL ID：200903094316977359

ホトレジスト用アルカリ性現像液

発明者： 馬場 成人 ,  金子 厚
出願人/特許権者： 日本表面化学株式会社
代理人 (1件)： 倉内 基弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-170500
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352700
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】 現像液中のホトレジストの不溶性成分や消泡剤から成るスカムの再付着を防止し、解像度を向上し、良好なレジストパターンを形成できるアクリル系ポリマーを主剤とする感光性樹脂から成るホトレジスト用アルカリ性現像液を提供すること。【解決手段】 アルカリ性化合物に両性界面活性剤の中から選ばれた1種以上を0.01〜50g/L含有することを特徴とし、更に非イオン性界面活性剤、陰イオン性界面活性剤の中から選ばれた1種以上を0.01〜50g/L併用することを特徴とするアクリル系ポリマーを主剤とする感光性樹脂から成るホトレジスト用現像液。

請求項（抜粋）：

アルカリ性化合物に両性界面活性剤の中から選ばれた一種以上を、0.01〜50g/L含有することを特徴とするアクリル系ポリマーを主剤とする感光性樹脂から成るホトレジスト用アルカリ性現像液。

IPC (2件)：

G03F 7/32 501 ,  H05K 3/06

FI (2件)：

G03F 7/32 501 ,  H05K 3/06 G