特許

J-GLOBAL ID：200903094328300931

エキシマランプ

発明者： 清瀬 正秀 ,  廣瀬 賢一 ,  住友 卓
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-190081
公開番号（公開出願番号）：特開2006-012681
出願日： 2004年06月28日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】外表面に外側電極を設けた放電容器内に内部電極を設けたエキシマランプにおいて、前記放電容器内で内部電極を覆うように設けた内側管の少なくとも一端の開放部から露出する内部電極と、外側電極との間での不所望の沿面放電を防止したエキシマランプを提供すること。【解決手段】放電容器内で内部電極を覆うように設けられた内側管の端部に、該内側管から突出した内部電極と外側電極との間での沿面放電を防止する沿面放電防止手段を設けたことを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

放電用ガスが封入された放電容器と、該放電容器の内部を長手方向に延在するとともに放電容器の端部において気密に封止された内部電極と、放電容器の外面に配置された外側電極からなるエキシマランプにおいて、 前記内部電極は、少なくとも外側電極との間で放電を行う部位の外表面が、少なくとも一端が放電空間内で開放された誘電体材料からなる内側管によって覆われるとともに、 該内側管は対応する外側電極の端部を長手方向に超えて延在し、その端部には、前記内側管から突出した内部電極と外側電極との間での不所望の沿面放電を防止する沿面放電防止手段を有することを特徴とするエキシマランプ。

IPC (1件)：

H01J 65/00

FI (1件)：

H01J65/00 D

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-7353号
  
• 特許第2854255号
  
• 誘電体バリヤ放電ランプを使った光照射装置。
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-364362   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特許第3506055号