特許

J-GLOBAL ID：200903094328890747

粉末への被膜形成装置

発明者： 森田 正 ,  林 徹
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-011404
公開番号（公開出願番号）：特開平5-202472
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】 粉末のPVD法による被膜形成を工業的に行なうに適した装置を提供すること【構成】 PVD法により被膜形成する真空装置の真空室1内に、粉末5を載せた振動板4を設け、該振動板を発振器6により電気的に振動させて該粉末に該真空室内で発生する微粒子の被膜を形成する装置に於いて、該真空室内に、該発振器に接続された駆動用コイル10により励磁される電磁石12を設け、該電磁石上に前記振動板の下方にばね13を介して取り付けた磁石14を載置し、該電磁石は好ましくは上記真空室内で旋回自在に設けられる【効果】 多量の粉末を振動・転動させながら被膜の形成を行なうことができる

請求項（抜粋）：

スパッタリング等のPVD法により被膜形成する真空装置の真空室内に、粉末を載せた振動板を設け、該振動板を発振器により電気的に振動させて該粉末に該真空室内で発生する微粒子の被膜を形成する装置に於いて、該真空室内に、該発振器に接続された駆動用コイルにより励磁される電磁石を設け、該電磁石上に前記振動板の下方にばねを介して取り付けた磁石を載置したことを特徴とする粉末への被膜形成装置。