特許
J-GLOBAL ID：200903094329839060
スピンコート装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-270229
公開番号（公開出願番号）：特開平6-124487
出願日： 1992年10月08日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】【構成】 コート剤を被コート物に対して供給するためにコート剤をストックする供給ストック容器と、薄膜形成後回収されたコート剤をストックする回収ストック容器とを有し、回収ストック容器の容積が供給ストック容器の容積より小さく、かつコート剤のライン中にフイルターなどのコート剤の濾過手段を備えることを特徴とするスピンコート装置。【効果】 有機薄膜を高効率、低コストで製造できる。
請求項（抜粋）：
コート剤を被コート物に対して供給するためにコート剤をストックする供給ストック容器と、薄膜形成後回収されたコート剤をストックする回収ストック容器とを有し、回収ストック容器の容積が供給ストック容器の容積より小さく、かつコート剤のライン中にコート剤の濾過手段を備えることを特徴とするスピンコート装置。
IPC (4件)：
G11B 7/26 531
, B05C 11/08
, B05C 11/10
, H01L 21/027
