特許

J-GLOBAL ID：200903094332703200

イオン光学描写装置

発明者： ゲルハルト シュテングル ,  アルフレツド チャルプカ
出願人/特許権者： イーエムエス イオーネン ミクロファブリカチオンス ジステーメ ゲゼルシャフト ミト ベシュレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 小林 和憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-182557
公開番号（公開出願番号）：特開平5-243112
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 欠陥のあるイオンリソグラフィを許容し、大きな像欠陥に関して歪のない鮮明な像を得ることのできるイオン光学描写装置を提供する。【構成】 マスクMとウエーハWとの間に配置された2枚の収束レンズL1、L2からなる組み合わせを備え、マスクが該マスクに続いている収束レンズのほぼ物体側の焦点面内にかつウエーハがマスクに続いている第2収束レンズの像側焦点面の周囲に位置決めされ、マスク上に存在する構造が1以上の開口の形状においてレンズ系を介してウエーハ上に形成されるイオン光学描写装置において、2つの収束レンズからなる組み合わせが、a)2つの加速ユニットレンズ、b)加速及び遅延液浸レンズ、c)加速液浸及び非対称遅延ユニットレンズ、d)加速非対称及び遅延液浸レンズ、e)加速ユニット及び遅延非対称ユニットレンズのいずれかである。

請求項（抜粋）：

マスクとウエーハとの間に配置された2枚の収束レンズからなる組み合わせを備え、前記マスクが該マスクに続いている収束レンズのほぼ物体側の焦点面内にかつ前記ウエーハが前記マスクに続いている第2収束レンズの像側焦点面の周囲に位置決めされかつ好ましくは前記マスクに続いている第2収束レンズのクロスオーバーを含み、前記マスク上に存在する構造が1またはそれ以上の開口の形状においてレンズ系を介してウエーハ上に形成されるイオン光学描写装置において、2つの収束レンズからなる組合わせが以下のレンズの種類、a)2つの加速ユニツトレンズ、b)加速液浸レンズが前記マスクに続いている、加速および遅延液浸レンズ、c)前記加速液浸レンズが前記マスクに続いている、加速液浸レンズおよび非対称遅延ユニツトレンズ、d)加速非対称ユニツトレンズが前記マスクに続いている前記加速非対称ユニツトレンズおよび遅延液浸レンズ、またはe)非対称の加速ユニツトレンズが前記マスクに続いている非対称の、加速ユニツトレンズおよび遅延非対称ユニツトレンズにより形成されることを特徴とするイオン光学描写装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 506 ,  G03F 7/20 521