特許
J-GLOBAL ID：200903094347744204
基板搬送方法、基板位置ぎめ装置および基板の検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-078837
公開番号（公開出願番号）：特開平9-270451
出願日： 1996年04月01日
公開日（公表日）： 1997年10月14日
要約：
【要約】【課題】基板搬送を高速かつ高精度で実現する基板搬送方法を提供すること。【解決手段】基板の位置ずれを検出し、この検出結果に基づいて基板搬送機あるいは面方向および回転方向の駆動部を有する基板受取側装置を制御し基板を搬送する。
請求項（抜粋）：
基板キャリアから取り出した基板を基板面方向の駆動部を有する基板搬送機を用いて基板回転方向の駆動部を有する基板受取側装置に受け渡す基板搬送方法において、基板キャリアから取り出した基板の基板回転方向と基板面方向の位置ずれを位置検出センサで検出し、前記基板搬送機の基板面方向の駆動部を前記検出された基板面方向の位置ずれに基づいて移動させ、前記基板を前記基板搬送機から前記基板受取側装置に受け渡し、前記検出された基板回転方向の位置ずれに基づいて前記基板受取側装置の基板回転方向の駆動部で位置決めを行うことを特徴とする基板搬送方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, G01B 11/00 A
