特許

J-GLOBAL ID：200903094348068202

表面検査方法

発明者： 石垣 秀倫 ,  北 英樹 ,  川島 明彦
出願人/特許権者： 旭エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 谷 義一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150702
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340743
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】 径の異なる2つのレーザビームを用いて円筒状被検査物表面のキズを検査する。【構成】 被検査物表面の欠陥検出に適したビーム径と照射角度を持つ2本のレーザビームを1式の回転ミラー7を介して円筒状被検査物12の胴方向に照射し、各々のビームの反射光をそれぞれのビームに対する受光器にて捕捉し、これを電気信号に変換し、この電気信号を比較器18,21によりしきい値と比較することにより平面上の2次元的な傷や曲面異常などの3次元的な欠陥を検出する。

請求項（抜粋）：

円筒形状の被検体をその胴方向の軸を中心に回転させ、該被検体の表面に前記被検体の表面の2次元的な欠陥を検出するための第1のビームと、当該被検体の表面の3次元的な欠陥を検出するための第2のビームとを互いに交錯しないように前記被検体表面の異なる部分に照射し、当該照射された第1のビームおよび第2のビームの反射光をそれぞれ光電変換し、当該それぞれ光電変換された電気信号の波形分析を行うことにより前記2次元的な欠陥および前記3次元的な欠陥を検出することを特徴とする表面検査方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-152255
  
• 特開昭62-038348
  
• 特開平1-165940