特許
J-GLOBAL ID:200903094348173723

偏心量測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 茂信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-054833
公開番号(公開出願番号):特開平8-247717
出願日: 1995年03月15日
公開日(公表日): 1996年09月27日
要約:
【要約】【目的】 小径の物体でもその偏心量を容易に且つ精度良く測定できる小型で安価な偏心量測定装置を提供することである。【構成】 平行光を被測定物体に照射する投光部10と、投光部10からの平行光45を受光する受光部20と、受光部20の光路前に配置されたスリットとを備え、投光部10から出射される平行光45の、スリットの開口の長軸方向における光強度分布がリニアに変化(増減)している。
請求項(抜粋):
平行光を被測定物体に照射する投光部と、この投光部からの平行光を受光する受光部と、この受光部の光路前に配置されたスリットとを備え、平行光が被測定物体で遮光されることにより変化する受光部の受光量を検出して物体の偏心量を測定する偏心量測定装置において、前記投光部から出射される平行光の、前記スリットの開口の長軸方向における光強度分布が、リニアに変化していることを特徴とする偏心量測定装置。

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