X線顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-050873
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265698
出願日： 1993年03月11日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】試料に照射する励起用輻射線としての紫外線の照射時間およびX線を照射するタイミングを適切にする決定方法および、その決定方法を適用したX線顕微鏡を提供する。【構成】 X線光源としてのSOR光源41と、紫外線光源としての紫外線レーザ光源47と、X線パルスを検出するMCP43等を設ける。紫外線の照射を開始した時点を基準にして(T+3τ)以内にX線を照射するようにX線照射のタイミングを設定し、サンプル45に照射する紫外線の照射時間TをT=3τとする。ただし、τ:励起用輻射線に励起された状態の観察する分子もしくは原子の寿命、T:励起用輻射線の照射時間。

請求項（抜粋）：

試料に対し励起用輻射線および軟X線を照射して該試料の透過X線顕微鏡像を撮像するX線顕微鏡において、前記励起用輻射線の照射を開始した時点を基準にして(T+3τ)以内にX線を照射するようにしたことを特徴とするX線顕微鏡。ただし、τ:励起用輻射線に励起された状態の観察する分子もしくは原子の寿命T:励起用輻射線の照射時間

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