特許
J-GLOBAL ID：200903094356190785
ウエハ支持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-353010
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181252
出願日： 1992年12月11日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 ウエハを横置きとし、ウエハを載置した時にウエハの重量を利用してウエハを自動的に調心できるとともに自動的に支持することができるウエハ支持装置を提供する。【構成】 ウエハ2の底面に接触する第1接触部3とウエハ2の外周面に接触可能な第2接触部4とを有した略L字形断面の複数の支持レバー1と、該支持レバーをウエハ2の半径方向に揺動可能に枢支する枢支部5とを備え、ウエハ2が前記第1接触部3に載置されるとウエハ2の自重により前記支持レバー1が半径方向内方に揺動して前記第2接触部4がウエハ2の外周面に接触するようにした。
請求項（抜粋）：
ウエハの底面に接触する第1接触部とウエハの外周面に接触可能な第2接触部とを有した略L字形断面の複数の支持レバーと、該支持レバーをウエハの半径方向に揺動可能に枢支する枢支部とを備え、ウエハが前記第1接触部に載置されるとウエハの自重により前記支持レバーが半径方向内方に揺動して前記第2接触部がウエハの外周面に接触するようにしたことを特徴とするウエハ支持装置。
IPC (2件)：
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