特許

J-GLOBAL ID：200903094363055842

耐蝕性セラミックス材料および耐蝕性部材

発明者： 宮田 昇 ,  井口 真仁 ,  小倉 知之 ,  白川 洋一
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121119
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313656
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 腐食性ガスおよびプラズマ、特にフッ素系に代表されるハロゲン系の腐蝕性ガスおよびプラズマに対して高い耐蝕性を有する耐蝕性セラミックス材料および耐蝕性部材を提供すること、および、これに加えて良好な機械的特性を有する耐蝕性セラミックス材料および耐蝕性部材を提供すること。【解決手段】 MgOとAl2O3とZrO2および/またはY2O3とで実質的に構成し、MgOとAl2O3との組成比を重量比で0.67〜2.33の範囲とし、ZrO2および/またはY2O3を合計1〜10重量%含有させることにより耐蝕性セラミックス材料を得る。

請求項（抜粋）：

MgOとAl2O3とZrO2および/またはY2O3とから実質的になり、MgOとAl2O3との組成比が重量比で0.67〜2.33の範囲であり、ZrO2および/またはY2O3を合計1〜10重量%含有することを特徴とする耐蝕性セラミックス材料。

IPC (3件)：

C04B 35/04 ,  C04B 35/10 ,  H01L 21/3065

FI (4件)：

C04B 35/04 Z ,  C04B 35/10 Z ,  H01L 21/302 C ,  H01L 21/302 B

Fターム (17件)：

4G030AA07 ,  4G030AA12 ,  4G030AA17 ,  4G030AA36 ,  4G030BA01 ,  4G030BA33 ,  4G030HA12 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB14 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA18 ,  5F004DA26