キャパシタンスに基づくチューニング可能な超小型機械共振器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-503889
公開番号（公開出願番号）：特表平11-508418
出願日： 1996年06月20日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】チューニング可能な電気機械共振器構造は静電アクチュエータ(66,68)を備え、上記静電アクチュエータ(66,68)は上記構造の共振周波数の減少又は増大を可能にする。上記アクチュエータは、2組の対向する電極の指状突起物を備え、各組は所定の間隔を置かれて平行な多数の指状突起物(70,72,84,90)を有する。隙間(86,92)によって所定の間隔を離れて置かれた隣接した端部で、1つの組(70,72)は上記共振器構造の可動部分(54)上に設けられ、1つの組(84,90)は上記基板上の隣接した固定されたベース(132,134)上に設けられる。上記電極の組の間の調整可能なバイアス電圧(130)は、上記可動構造の共振周波数を調整する。

請求項（抜粋）：

超小型機械アクチュエータであって、上記超小型機械アクチュエータは、第1の静止コンポーネントと、上記第1のコンポーネントに対して相対的に移動可能な第2のコンポーネントとを有する超小型構造と、上記第1のコンポーネント上に設けられた、所定の間隔を離れて置かれて実質的に平行な第1の組の櫛形の電極の指状突起物と、上記第2のコンポーネント上に設けられた、所定の間隔を離れて置かれて実質的に平行な第2の組の櫛形の電極の指状突起物とを備え、上記第1及び第2の組の上記指状突起物は、同一平面上にあり、それらの間に隙間を有して対向してかつ重ならない関係にあり、上記第1及び第2の組の電極の間に接続されてそれらの間に静電界を発生するバイアス電源を備えた超小型機械アクチュエータ。

IPC (3件)：

H03H 9/125 , H03H 9/205 , H03H 9/24

FI (3件)：

H03H 9/125 , H03H 9/205 , H03H 9/24 Z

引用特許：

出願人引用 (2件)

特開平3-230779
超小形電気機械式横方向加速度計
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-500755 出願人：コーネル・リサーチ・ファウンデーション・インコーポレイテッド

審査官引用 (2件)

特開平3-230779
超小形電気機械式横方向加速度計
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-500755 出願人：コーネル・リサーチ・ファウンデーション・インコーポレイテッド

引用文献：

出願人引用 (1件)

Capacitance Based Tunable Micromechanical Resonators

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