特許

J-GLOBAL ID：200903094367826592

磁気センサ

発明者： 杉山 佳延 ,  伊藤 順司 ,  金丸 正剛
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-121876
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308207
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 磁気センサの感度と耐環境性を向上させる。【構成】 磁気センサは、電界放射型エミッタ電極1と、このエミッタ電極1から放射された電子の動きを制御するゲート電極2と、エミッタ電極1から放射された電子を捕集するアノード電極3とからなり、アノード電極3が少なくとも2つに離間され、このアノード電極3に入射する電子による電流の差分を測定する。これらの構成要素は真空容器内に配設されている。

請求項（抜粋）：

電子を放射するための電界放射型エミッタ電極と、該電界放射型エミッタ電極から放射される電子数、すなわち、エミッタ電流を制御するためのゲート電極と、前記電界放射型エミッタ電極から放射された電子を捕集するためのアノード電極とが真空容器内に配設され、前記電界放射型エミッタ電極から放射された電子が真空中を走行して、前記アノード電極に入射する間に外部磁場により偏向され、その結果、前記アノード電極に入射する電子数が変化することに基づいて前記外部磁場を検出することを特徴とする磁気センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/028 ,  H01J 1/30

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-194690
  
• 特開昭62-272169
  
• 特公平2-012378
  
• 特公昭54-025792