特許

J-GLOBAL ID：200903094368362891

感光性樹脂組成物

発明者： 西沢 広 ,  鈴木 健司 ,  萩原 秀雄 ,  小島 康則
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-033324
公開番号（公開出願番号）：特開平5-232701
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】 現像性、厚膜形成性、膜強度、耐熱性及び接着性を合わせ持った感光性樹脂組成物を提供する。【構成】 (A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有すポリイミド【化1】(式中Xは、光によって重合又は二量化する基を有する1価の有機基を表し、R1は4価の有機基を表し、R2は(2+P)価の有機基を表し、R3は2価の有機基を表し、Pは1〜4の整数であり、n/mは、1/99〜100/0(モル比)である)(B)必要に応じて用いる光開始剤及び(C)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(I)で表される繰り返し単位を有すポリイミド【化1】(式中Xは、光によって重合又は二量化する基を有する1価の有機基を表し、R1は4価の有機基を表し、R2は(2+P)価の有機基を表し、R3は2価の有機基を表し、Pは1〜4の整数であり、n/mは、1/99〜100/0(モル比)である)(B)必要に応じて用いる光開始剤及び(C)有機溶媒を含有してなる感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/038 504 ,  C08F299/02 MRU ,  C08L 79/08 LRC ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28