特許
J-GLOBAL ID：200903094372145277
レーザ発振装置、露光装置及びデバイスの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-051809
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294863
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 スロットアレイ構造を採用するも、レーザ管の長手方向にわたり全体的に均一な電磁波の放射を実現し、エネルギー損失を極力抑えた均一なレーザ発光を可能とする。【解決手段】 各スロット10をその長手方向が導波管1の長手方向と一致するように一列に配し、これらスロット10の周囲を囲むように金属壁12を設ける。そして、この金属壁12により、スロット10からレーザ管壁の窓部15までの間に間隙を形成し、この間隙をマイクロ波の通路11とする。
請求項（抜粋）：
導波管から導波管壁に形成された複数の微小間隙を介して電磁波をレーザ管内に導入することにより前記レーザ管内のレーザガスを励起し、前記レーザガスから発する光を共振させてレーザ光を発生させるレーザ発振装置において、前記微小間隙上から前記レーザ管壁までの間が所定距離離間され、前記電磁波の通路が形成されていることを特徴とするレーザ発振装置。
IPC (5件)：
H01S 3/0973
, G03F 7/20 502
, H01L 21/027
, H01S 3/09
, H01S 3/225
H01S 3/097 C
, G03F 7/20 502
, H01L 21/30 515 B
, H01S 3/09 Z
, H01S 3/223 E
2H097BA02
, 2H097BA06
, 2H097CA13
, 2H097JA03
, 2H097LA10
, 5F046AA07
, 5F046BA04
, 5F046CA04
, 5F071AA06
, 5F071DD08
, 5F071EE04
, 5F071JJ05
, 5F071JJ10
, 5F072AA06
, 5F072JJ02
, 5F072JJ20
, 5F072KK06
, 5F072MM08
, 5F072PP05
, 5F072RR05
, 5F072TT22
, 5F072YY09
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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