特許
J-GLOBAL ID：200903094373527726
静電レンズおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-138060
公開番号（公開出願番号）：特開平8-329872
出願日： 1995年06月05日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 加工および組み立てを容易に行うことができレンズ精度を向上させた静電レンズおよびその製造方法を提供する。【構成】 荷電粒子ビーム(15)を発散あるいは収束させるための静電レンズ(1)の製造方法において、絶縁性筒体(2)の挿入貫通孔(3)に高抵抗材柱状体(4、6)と低抵抗材柱状体(5)とを互いに隙間なく交互に挿入し、低抵抗材柱状体と高抵抗材柱状体とを絶縁性筒体に一体化させた状態で低抵抗材柱状体および高抵抗材柱状体に荷電粒子ビームが伝播する伝播貫通孔(7)を形成することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを発散あるいは収束させるための静電レンズの製造方法において、絶縁性筒体の挿入貫通孔に高抵抗材柱状体と低抵抗材柱状体とを互いに隙間なく交互に挿入し、前記低抵抗材柱状体と前記高抵抗材柱状体とを前記絶縁性筒体に一体化させた状態で前記低抵抗材柱状体および前記高抵抗材柱状体に前記荷電粒子ビームが伝播する伝播貫通孔を形成することを特徴とする静電レンズの製造方法。
IPC (4件)：
H01J 37/12
, G21K 1/087
, H01J 9/14
, H01J 29/46
H01J 37/12
, G21K 1/087 F
, H01J 9/14 A
, H01J 29/46 A
