走査型露光装置およびデバイス製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271332
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097985
出願日： 1996年09月24日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】レチクル移動台とレチクルとの接触面積を拡大することなしにレチクル保持力を大きくして、レチクルの大画面化と走査駆動時の加速度の向上を図り、かつレチクル保持時のレチクルの変形を少なくし、もって生産性の向上と高精度化を両立させた走査型露光装置およびデバイス製造装置を提供する。【解決手段】原版と被露光基板とを露光ビームに対して移動させて露光ビームで走査することにより前記原版に描かれたパターンを前記被露光基板に転写する走査型露光装置において、前記原版を、前記原版を搭載して前記走査のために移動させる移動台に押しつける押付け手段を有する走査型露光装置。

請求項（抜粋）：

原版と被露光基板とを露光ビームに対して移動させて露光ビームで走査することにより前記原版に描かれたパターンを前記被露光基板に転写する走査型露光装置において、前記原版を、前記原版を搭載して前記走査のために移動させる移動台に押しつける押付け手段を有することを特徴とする走査型露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 518 , G03F 7/20 521

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