特許
J-GLOBAL ID:200903094386205175

容量性の角度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 江崎 光史 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-105819
公開番号(公開出願番号):特開平11-344357
出願日: 1999年04月13日
公開日(公表日): 1999年12月14日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 回転子が振動と温度の影響にもかかわらず歪まなく、かつ固定子に対して同一の間隔で回転する容量性の角度センサを提供する。【解決手段】 角度センサ1は、センサハウジング2を密閉する蓋2′を有するこのセンサハウジング2を備え、固定子3と回転子4が、センサハウジング2内に配置されている。固定子3と回転子4は、それぞれ1つの小さいセラミック板で構成され、平行平面状に重なり合って載置されている。セラミック板はAl2O3 のセラミックから成る。センサコンデンサとしての電極5,6の印刷された電極構造体、及び結合コンデンサ7の印刷された電極構造体が、固定子3と回転子4のそれぞれ対向しない方の側面上に存在する。これらの電極構造体が、それらのセラミック板の裏面上に印刷されている。その結果、角度センサ1に組立てる際に、これらの電極5,6,7が、その固定子3と回転子4のそれぞれ外側を向いた側面上に存在する。
請求項(抜粋):
平行平面状に向き合って指向されていて、1本のセンサ軸に捻れ力に対して強く連結されている1つの回転子と、センサハウジングに固定された1つの固定子とから構成される容量性の角度センサにおいて、この回転子(4)及び固定子(3)又はこれらのどちらか一方は、小さいセラミック板として形成され、複数の電極構造体(5,6,7)は、これらの小さいセラミック板の互いに外側を向いた側面上に設けられていて、この場合、誘電性の膜は、これらの小さいセラミック板によって形成されることを特徴とする容量性の角度センサ。
IPC (3件):
G01D 5/245 ,  G01B 7/30 ,  G01D 5/24
FI (3件):
G01D 5/245 C ,  G01B 7/30 D ,  G01D 5/24 C

前のページに戻る