特許
J-GLOBAL ID：200903094388798017
走査型プローブ顕微鏡およびその光学式変位検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022103
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206148
出願日： 1997年01月21日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 被走査部の負荷を軽減し、走査速度を高め、光学顕微鏡との組合せを簡単に行える走査型プローブ顕微鏡とその光学式変位検出装置を提供する。【解決手段】 試料表面11に対向する探針を備えたカンチレバーと、カンチレバーのたわみ変形量を検出する光学式変位検出手段14,17 と、試料表面に対しカンチレバーを走査する走査手段と、試料と探針の距離を変化させる駆動手段と、光学式変位検出手段の出力信号が設定値と一致するように駆動手段を制御する制御手段を備え、光学式変位検出手段は、カンチレバーにレーザ光14を照射するレーザ光源13と、カンチレバーからの反射レーザ光14a を受け上記変位量を検出する光検出器17と、反射レーザ光の焦点を光検出器の中心で結ばせる光学手段15,16を備え、光学式変位検出手段は固定して取り付けられ、走査手段はカンチレバーのみを走査移動する。
請求項（抜粋）：
試料に接近し対向して配置される探針を備えたカンチレバーと、当該カンチレバーのたわみ変形で生じる変位量を検出する光学式変位検出手段と、前記試料の表面に対し前記カンチレバーを相対的に走査させる走査手段と、前記試料と前記探針の距離を変化させる駆動手段と、前記光学式変位検出手段により得られる変位信号が設定値と一致するように前記駆動手段を制御する制御手段を備えた走査型プローブ顕微鏡において、前記光学式変位検出手段は、前記カンチレバーにレーザ光を照射するレーザ光源と、前記カンチレバーで反射されたレーザ光を受け前記変位量を検出する光検出器と、前記レーザ光源から出射された前記レーザ光を、反射された後、前記光検出器の中心で焦点を結ばせる光学手段とを備え、前記光学式変位検出手段は固定して取り付けられ、前記走査手段は前記カンチレバーのみを走査移動するようにしたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01N 37/00
, H01J 37/28
G01B 21/30 Z
, G01N 37/00 B
, H01J 37/28 X
