特許
J-GLOBAL ID：200903094393686294
加速度検出素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-258141
公開番号（公開出願番号）：特開平9-080071
出願日： 1995年09月11日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】 2方向以上の加速度を検知することが可能な加速度検出素子を提供することである。【解決手段】 基板3上の支持部6に梁4の基端側を固定する。基板3の面に間隙を介し基板面に沿う水平方向に伸張形成された梁4の先端側におもり5を設ける。おもり5の重心Gの位置は梁4の長さ方向(X方向)の加速度が加わったときに、慣性モーメントが作用するように梁4の中心軸よりも垂直方向に離れた位置となっている。梁4の表面上に梁4の撓み変形の歪みを抵抗値変化によって検出するピエゾ抵抗素子10を配設する。X方向あるいはY方向の加速度が加わると、加速度の大きさに応じ梁4が上・下に撓みおもり5が上・下に変位し、ピエゾ抵抗素子10の抵抗値が増・減変化する。この変化量に基づいて加速度の大きさを検出する。
請求項（抜粋）：
基板上に一端側が固定されて基板面と間隙を介し基板面に沿って水平方向に伸張する片持ち梁が形成され、この片持ち梁の先端側にはおもりが設けられ、このおもりの重心位置は片持ち梁の長さ方向の加速度を受けて梁が撓み変形可能に片持ち梁の長さ方向の中心軸よりも垂直方向に離れた位置に設定されており、前記片持ち梁には梁の撓み変形の歪みを抵抗値変化によって検出するピエゾ抵抗素子が設けられている加速度検出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/12
, G01P 15/02 A
