X-Yステージ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-046201
公開番号（公開出願番号）：特開平7-251341
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年10月03日
要約：

【要約】【目的】半導体製造装置及び工作機械の位置決めステージとして用いられるX-Yステージに関し、移動位置精度を向上する。【構成】ガイドローラ79は、ガイドレール25に当接する第1の外周面76と、第1の外周面76に対して一の方向に傾斜した第1の内周面77と、第1の外周面76に対して他の方向に傾斜した第2の内周面78とを同心円状に成形されてなる環状の外輪75と、軸心に対して一の方向に傾斜した第2の外周面68と、軸心に対して他の方向に傾斜した第3の外周面74とを同心円状に成形されており、第2及び第3の外周面74を外輪75内に挿通される第1及び第2の62,71と、第2の外周面68と第1の内周面77とにより挟持されて転動する複数のボール69と、第3の外周面74と第2の内周面78とにより挟持されて転動する複数のボール69とよりなる。

請求項（抜粋）：

互いに直交するガイドレール(25)と、該ガイドレール(25)に当接するガイドローラ(79)と、該ガイドレール(25)が固着されており、該ガイドローラ(79)が回動して該ガイドレール(25)を案内することで直交する2方向に移動する平板状部材(21)とを具備したX-Yステージにおいて、該ガイドローラ(79)は、該ガイドレール(25)に当接する第1の外周面(76)と、該第1の外周面(76)に対して一の方向に傾斜した第1の内周面(77)と、該第1の外周面(76)に対して他の方向に傾斜した第2の内周面(78)とを同心円状に成形されてなる環状の外輪(75)と、軸心に対して一の方向に傾斜した第2の外周面(68)と、該軸心に対して他の方向に傾斜した第3の外周面(74)とを同心円状に成形されており、該第2及び第3の外周面(74)を該外輪(75)内に挿通される軸(62,71)と、該第2の外周面(68)と該第1の内周面(77)とにより挟持されて転動する複数の第1の球状部材(69)と、該第3の外周面(74)と該第2の内周面(78)とにより挟持されて転動する複数の第2の球状部材(69)とよりなることを特徴とするX-Yステージ。

IPC (4件)：

B23Q 1/62 , B23Q 1/40 , H01L 21/027 , H01L 21/68

FI (4件)：

B23Q 1/18 A , B23Q 1/26 D , H01L 21/30 503 A , H01L 21/30 515 G

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