特許
J-GLOBAL ID:200903094403617547
処理ラインの制御方法
発明者:
,
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
三浦 祐治
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-588427
公開番号(公開出願番号):特表2002-532627
出願日: 1999年10月07日
公開日(公表日): 2002年10月02日
要約:
【要約】下記の(a),(b),(c)を特徴とする、処理ラインの制御方法(a)処理ラインの化学的処理および/または物理的処理における1または2以上のパラメーターと、処理結果として得られる1または2以上の特性値との相関関係を把握し、それを用いてパラメーターに対する特性値の従属性を規定するルールを導出し、かつ該相関関係と該ルールを処理ラインの制御システムに貯蔵し、(b)処理の結果生ずる1または2以上の特性値を、連続的にあるいは間欠的に測定し、(c)該特性値が所定の範囲から外れる際には、該特性値と強い相関関係にあるパラメーターを特性値が所定の範囲から外れるのを打ち消す方向に変更制御する。
請求項(抜粋):
下記(a),(b),(C)を特徴とする、処理材に化学的処理および/または物理的処理を施す処理ラインの制御方法 (a)処理ラインの化学的処理および/または物理的処理における1または2 以上のパラメーターと、処理の結果として得られる1または2以上の特性値 との相関関係を把握し、それを用いてパラメーターに対する特性値の従属性 を規定するルールを導出し、かつ該相関関係と該ルールを処理ラインの制御 システムに貯蔵し、 (b)処理の結果生ずる1または2以上の特性値を、連続的にあるいは間欠的 に測定し、 (C)該特性値が所定の範囲から外れる際には、あるいは所定の範囲の限界値 に向かって移動する傾向が強い際には、該特性値と強い相関関係にあるパラ メーターを(a)で定めた相関関係およびまたはルールに基づいて特性値が 所定の範囲から外れるのを打ち消す方向に変更制御する。
IPC (4件):
C23C 22/77
, C23C 22/12
, B05D 3/10
, G05B 13/02
FI (4件):
C23C 22/77
, C23C 22/12
, B05D 3/10 L
, G05B 13/02 B
Fターム (46件):
4D075BB65Z
, 4D075BB75Y
, 4D075BB91Y
, 4D075BB92Y
, 4D075BB93Y
, 4D075BB95Y
, 4D075CA33
, 4D075DA06
, 4D075DB01
, 4D075DB14
, 4D075DB21
, 4D075DB31
, 4D075DC12
, 4D075EA06
, 4D075EA07
, 4D075EB01
, 4D075EB56
, 4D075EC01
, 4D075EC54
, 4K026AA02
, 4K026AA25
, 4K026BA04
, 4K026BA06
, 4K026BA12
, 4K026BB07
, 4K026BB08
, 4K026CA13
, 4K026CA18
, 4K026CA24
, 4K026CA28
, 4K026CA35
, 4K026CA37
, 4K026DA13
, 4K026DA15
, 4K026DA16
, 4K026EA08
, 4K026EB03
, 5H004GB02
, 5H004HA01
, 5H004HA04
, 5H004HA16
, 5H004KA71
, 5H004KD56
, 5H004KD61
, 5H004KD70
, 5H004LA15
前のページに戻る