カラーフィルタの検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-287225
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126948
出願日： 1995年11月06日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】カラーフィルタの顔料パターンのストライプ形状の端部を擬似欠陥として検出してしまう問題点を解決する。【解決手段】検査対象物を載置したステージを、その水平面の水平を維持して360°回転させながら、光源からの光の反射光による連続的な検査を行い、その際、検査対象物である液晶表示装置用カラーフィルタにおいて普遍的に検出される繰り返しパターンを擬似欠陥として認定しないことにより、キズ、ムラ欠陥のみを検出する。

請求項（抜粋）：

透明基板上に着色画素層が形成されたカラーフィルタの検査方法において、前記カラーフィルタを水平状態にて載置したステージを、カラーフィルタの水平状態を維持しつつ同一方向に等速度で回転させる手段と、前記の回転するカラーフィルタの斜め上方向より、前記カラーフィルタ表面に光照射を行う光照射手段と、カラーフィルタ表面より正反射した反射光の光軸よりずらした位置に設け、カラーフィルタ表面よりの光を受けることでカラーフィルタ表面の外観を測定する測定手段と、前記の測定結果から、所定のパターンに従ってカラーフィルタに形成された繰り返しパターンにより周期的に得られる測定結果を擬似欠陥エラーとして認識除外し、その他の部分的に現れる測定結果をカラーフィルタ表面のキズまたはムラ欠陥の部位と判定検出する欠陥検出手段とを具備することを特徴とするカラーフィルタの検査方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 , G01N 21/88 , G02B 5/20 101

FI (3件)：

G01M 11/00 T , G01N 21/88 D , G02B 5/20 101

前のページに戻る