特許
J-GLOBAL ID：200903094406731146
標準試料
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211159
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063710
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、オージェ電子分光分析法や二次イオン質量分析法の分解能を正確に求めることが可能な標準試料を提供することを目的とする。【構成】 本発明の標準試料は、非晶質あるいは多結晶物質からなる層を複数回積層させてなることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
非晶質あるいは多結晶物質からなる層を複数回積層させてなることを特徴とする標準試料。
IPC (2件)：
G01N 23/22
, G01N 1/00 102
