特許

J-GLOBAL ID：200903094410559021

露光装置

発明者： 西 健爾
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-057359
公開番号（公開出願番号）：特開平8-255739
出願日： 1995年03月16日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：

【要約】【目的】 走査露光方式で露光する際に、露光用光源から出力される照明光の照度が所定の割合以下の範囲内で、且つ高い周波数で変動した場合でも、感光性の基板上での積算露光量を適正範囲内に収める。【構成】 露光用の光源を定電力で点灯し、その光源からの照明光の通過領域7a内に光量調整ロッド23を設置し、光量調整ロッド23で通過領域7a内を部分的に遮光する。インテグレータセンサで照明光の照度を連続的にモニタし、実際の照度が目標照度になるように、その光量調整ロッド23の回転角の制御により通過光量を調整する。

請求項（抜粋）：

露光用の照明光を発生する露光用光源と、前記照明光により転写用パターンの形成されたマスク上の所定の照明領域を照明する照明光学系とを備え、前記所定の照明領域に対して前記マスクを所定方向に走査するのと同期して、前記所定方向に対応する方向に感光基板を走査することにより、前記感光基板上に前記マスクのパターンを逐次露光する走査露光型の露光装置において、前記照明光の露光エネルギーを連続して計測する露光量計測手段と、前記露光用光源と前記マスクとの間に配置され、前記露光量計測手段により計測される露光エネルギーに応じて前記照明光が通過する領域内の一部の領域での通過光量を調整する光量微調整手段と、を有することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 518 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 E ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 517 ,  H01L 21/30 527