特許

J-GLOBAL ID：200903094424206113

結晶製造装置

発明者： 江上 雅裕 ,  塩原 融 ,  並川 靖生
出願人/特許権者： 財団法人国際超電導産業技術研究センター ,  石川島播磨重工業株式会社 ,  住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-263283
公開番号（公開出願番号）：特開平9-110582
出願日： 1995年10月11日
公開日（公表日）： 1997年04月28日
要約：

【要約】【課題】 核生成、表面浮遊物を抑制して高品質の結晶を製造することができ、かつ結晶の観察や寸法測定が容易に行なえる結晶製造装置を提供する。【解決手段】 円筒状のチャンバー2と、チャンバー2の中央に設置されたるつぼ3と、るつぼ3を取り囲む円筒状のヒータ5と、るつぼ3の上方に設置された断熱材6と、断熱材6の中心孔を塞ぐ第1、第2の透明板7、8と、これら透明板7、8の中心孔を貫通する引き上げ軸4と、結晶に向けて光を照射する結晶照明機構9と、結晶の寸法を測定する結晶寸法測定装置10と、チャンバー2内の雰囲気ガス流通機構11とを有している。

請求項（抜粋）：

チャンバー内の引き上げ軸の先端に取り付けた種結晶をるつぼに入れた結晶材料の溶融液に接触させ、これを回転させつつ引き上げることにより、種結晶上に結晶を成長させていく引き上げ式の結晶製造装置であって、円筒状のチャンバーと、該チャンバーの中心軸上に設置されたるつぼと、該るつぼを取り囲むように該るつぼと同軸状に設置された円筒状のヒータと、前記チャンバーの内部空間を区画するように前記るつぼの上方に設置された中心孔を有する断熱材と、該断熱材の中心孔を塞ぐように設置された中心孔を有する透明板と、該透明板の中心孔を貫通するように該チャンバーの中心軸に沿って設置された引き上げ軸を有することを特徴とする結晶製造装置。

IPC (2件)：

C30B 15/26 ZAA ,  C30B 29/22 501

FI (2件)：

C30B 15/26 ZAA ,  C30B 29/22 501 B