特許
J-GLOBAL ID：200903094432539210
半導体式力学量センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-309992
公開番号（公開出願番号）：特開平6-163936
出願日： 1992年11月19日
公開日（公表日）： 1994年06月10日
要約：
【要約】【目的】半導体式力学量センサにつき、電極面積,重錘質量の減少を伴わずに応答性の向上を図ること。【構成】少なくとも1つの固定電極と、この固定電極に対向して配置された力学量を検出する重錘と、この重錘を支持するバネ部を有する半導体式の力学量センサにおいて、前記重錘及び重錘に対向する面のいずれか一方の面に、溝を互いに交わらないように設けた半導体式力学量センサ。【効果】重錘表面積の変化,重錘重量の変化,ダンピング定数の変化,製造プロセスの精密化、等を防止できる。
請求項（抜粋）：
力学量を検出する重錘とこの重錘を支持するバネ部を有する半導体式の力学量センサにおいて、前記重錘及び重錘に対向する面のいずれか一方の面に、溝を互いに交わらないように設けたことを特徴とする半導体式力学量センサ。
IPC (2件)：
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