特許

J-GLOBAL ID：200903094445928275

電鋳部品の製造方法

発明者： 池田 智夫
出願人/特許権者： シチズン時計株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-313397
公開番号（公開出願番号）：特開2003-119588
出願日： 2001年10月11日
公開日（公表日）： 2003年04月23日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、電鋳元型の損傷、変形などを無くし、寸法精度が高く、形状不良の少ない、信頼性の高い微細な形状を有する電鋳部品を提供することを目的とする。【解決手段】 導電性を有する基板上に塗被された感光不溶性材料の一部分を紫外線で露光し、該感光不溶性材料の紫外線で露光されていない未露光部分のみを溶解除去することによって電鋳元型を作製する工程と、電鋳元型の表面に紫外線を照射してUVオゾン処理を行う工程と、UVオゾン処理された電鋳元型上に電鋳法によって電鋳部品を形成する工程とを有している。

請求項（抜粋）：

導電性を有する基板上に塗被された感光不溶性材料の一部分を露光し、該感光不溶性材料の露光されていない未露光部分のみを溶解除去することによって電鋳元型を作製する工程と、前記電鋳元型の表面に紫外線を照射してUVオゾン処理を行う電鋳前処理工程と、UVオゾン処理された前記電鋳元型上に電鋳処理を施して電鋳部品を形成する電鋳工程とを有する電鋳部品の製造方法。

IPC (4件)：

C25D 1/10 ,  C23G 3/00 ,  H01L 21/304 645 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

C25D 1/10 ,  C23G 3/00 Z ,  H01L 21/304 645 D ,  H01L 21/304 645 Z

Fターム (5件)：

4K053QA04 ,  4K053QA07 ,  4K053RA03 ,  4K053SA01 ,  4K053ZA04