特許
J-GLOBAL ID：200903094452491915
ワイヤーソーのガイドローラ磨耗量検知方法 及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-003572
公開番号（公開出願番号）：特開平7-205016
出願日： 1994年01月18日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】ワイヤーソーのワイヤーを走行させたままでガイドローラの磨耗量を連続的に検知し、ワイヤーの断線事故を防止し、且つ作業能率を向上させる。【構成】ワイヤー14を案内するガイドローラ18、22の案内溝を、表面が不導体部材68で内部が導体部材66の二重構造にして、導体部材66を接地させる。そして、走行するワイヤー14のワイヤー走行系路のうち、ガイドローラ18、22を挟む2点間に電源装置48で電流を流してその電流値を電流計50で測定して演算装置56に逐次入力する。演算装置56では、ガイドローラ18、22の磨耗がない状態での基準電流値に対する測定電流値の変化量を演算し、変化量が所定変化量になったら警報装置60でガイドローラ18、22の磨耗限界を知らせる。ワイヤー14を走行させたままでガイドローラ18、22の磨耗量を連続的に検知することができる。
請求項（抜粋）：
走行するワイヤーに被加工物を押し当てると共に、前記ワイヤーに砥粒を含む加工液を供給して多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーであって、前記ワイヤーに係合してワイヤーを案内するガイドローラの案内溝が前記ワイヤーで磨耗される磨耗量を検知するワイヤーソーのガイドローラ磨耗量検知方法に於いて、前記ワイヤーのワイヤー走行系路のうち前記ガイドローラを挟む2点間に電流を流してその電流値又は電圧値を測定すると共に、前記ガイドローラの案内溝が磨耗するとガイドローラから前記電流がリークするように設定し、前記測定した電流値又は電圧値の変化から前記ガイドローラの磨耗量を検知することを特徴とするワイヤーソーのガイドローラ磨耗量検知方法。
IPC (3件)：
B24B 27/06
, B28D 5/04
, H01L 21/304 311
