特許

J-GLOBAL ID：200903094455704839

露光光源ならびに露光方法および露光装置

発明者： 武久 究
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074243
公開番号（公開出願番号）：特開平10-270326
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 ArFエキシマレーザに代わり、波長変換によって波長193nm近傍の紫外光を効率よく発生できる露光光源を提供する。【解決手段】 銅レーザ発振器1の出力鏡31aから取り出された波長511nmの緑色成分のレーザ光L1は、ビーム径変換器3aでビーム径が拡大されたレーザ光L2として銅レーザ増幅器2を通過後、ダイクロイックミラー4bを経由して、色素レーザ発振器6と色素レーザ増幅器7の励起光となる。色素レーザ発振器6は波長578nmのレーザ光L11を発振し、色素レーザ増幅器7で増幅され、レーザ光L12として取り出され、さらにビーム径変換器3bにてビーム径が拡大されたレーザ光L13となり、ダイクロイックミラー4aで反射して、銅レーザ増幅器2内を通過し、増幅された波長578nmのレーザ光L15として非線形光学結晶11a、11bを順に通過し、波長193nmの露光光L30となる。

請求項（抜粋）：

銅レーザと、色素レーザと、少なくとも2個の非線形光学結晶とを含み、前記銅レーザから取り出されたレーザ光を励起光として前記色素レーザを動作させ、かつ前記色素レーザから取り出されたレーザ光を、前記非線形光学結晶を通過させて露光光として出力することを特徴とする露光光源。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 505

FI (4件)：

H01L 21/30 515 B ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 518 ,  H01L 21/30 527