液晶表示パネルの製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-177671
公開番号（公開出願番号）：特開平5-346562
出願日： 1992年06月12日
公開日（公表日）： 1993年12月27日
要約：

【要約】【構成】第1の基板11に第1のアライメントマークを、第2の基板12に第2のアライメントマークをそれぞれ形成し、この第1と第2のアライメントマークを用いて第1と第2との基板とを貼り合わせるにあたり、第1のアライメントマーク16はT字形状とし、第2のアライメントマーク17は逆T字形状とし、第1と第2のアライメントマークの隙間が所定の一定寸法の箇所と、第1と第2のアライメントマークの隙間が一定の寸法で段階的にズレている箇所とを形成する。【効果】アライメントマークのエッチング精度によらず、一対の基板の張り合わせや、露光処理を精度良く行うことが可能となり、表示品質が良好な液晶表示パネルが得られる。

請求項（抜粋）：

第1の基板に第1のアライメントマークを形成し、第2の基板に第2のアライメントマークを形成し、この第1のアライメントマークと第2のアライメントマークとを使用して第1の基板と第2の基板とを貼り合わせるにあたり、第1のアライメントマークは複数のT字形状を有するアライメントマークとし、第2のアライメントマークは複数の逆T字形状を有するアライメントマークとし、第1のアライメントマークと第2アライメントマークとの隙間が所定の同一寸法の箇所と、第1のアライメントマークと第2アライメントマークとの隙間が一定の寸法で段階的にズレている箇所とを形成することを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。

IPC (2件)：

G02F 1/13 101 , G03F 9/00

引用特許：

審査官引用 (23件)

特開平2-197113
特開平2-197113
特開平2-143544

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