ペレット吸着コレット

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096067
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294572
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【目的】化合物半導体ペレットのようにもろく欠けたり割れたりし易いものでも表面主要部には非接触で吸着搬送出来る吸着コレットを提供する。【解決手段】ペレット20をうける先端の凹部の断面形状が、ペレット20の端面23を位置規制する立ち下がり壁11と、ペレットのエッジに近い表面を支持する支持部13と、ペレットの表面の中ほど主要部分に非接触となるような逃げ部14とを備える。

請求項（抜粋）：

先端にペレットを真空吸着して搬送するペレット吸着コレットにおいて、前記ペレットを受ける先端の凹部の断面形状が、前記ペレットの端面を位置規制する立ち下がり壁と、前記ペレットのエッジに近い表面を支持する支持部と、前記ペレットの表面の中ほど主要部分に非接触となるような逃げ部とを備えることを特徴とするペレット吸着コレット。

Fターム (1件)：

5F047FA08

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