特許

J-GLOBAL ID：200903094471233528

マイクロ波装置

発明者： 原田 明一
出願人/特許権者： ミクロ電子株式会社
代理人 (1件)： 小池 寛治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-351628
公開番号（公開出願番号）：特開2007-157518
出願日： 2005年12月06日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：

【課題】 マグネトロンと負荷室とを連結させるマイクロ波立体回路の構成を単純化し、マイクロ波電力を利用した加熱装置やプラズマ発生装置の生産コストを下げること。 【解決手段】 マグネトロン21と負荷室としての減圧室26とを連結するマイクロ波立体回路を導波管22で形成すると共に、この導波管22には、マイクロ波電力を減圧室26に放射する2次アンテナ25と負荷インピ-ダンスを調節する金属スタブ31とを設け、前記マグネトロン21を定格又は定格未満の動作条件で動作可能とした構成となっている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

マグネトロンと負荷室とがマイクロ波立体回路により連結されているマイクロ波装置において、 前記マイクロ波立体回路は、導波管によって形成すると共に、この導波管内には、金属スタブからなる定在波発生器を設け、 前記マグネトロンを定格又は定格未満の動作条件で動作可能とすると共に、前記定在波発生器によって負荷インピ-ダンスを調節することを特徴とするマイクロ波装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 ,  H01L 21/306 ,  H05B 6/70

FI (3件)：

H05H1/46 B ,  H01L21/302 101D ,  H05B6/70 C

Fターム (8件)：

3K090BA01 ,  3K090BB12 ,  3K090CA02 ,  3K090CA23 ,  5F004AA16 ,  5F004BB14 ,  5F004BD01 ,  5F004BD03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マグネトロン応用装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-102721   出願人：株式会社日立製作所