特許

J-GLOBAL ID：200903094471381322

オプティカルインテグレータおよび該オプティカルインテグレータを備えた照明装置

発明者： 小松田 秀基
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-277168
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104546
出願日： 1996年09月27日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：

【要約】【課題】 断面形状および長さの異なるレンズエレメントから構成された照明効率の高いオプティカルインテグレータ。【解決手段】 多数のレンズエレメントからなり、入射光束を分割して多数のレンズエレメントと同数の光源像を形成するためのオプティカルインテグレータにおいて、多数のレンズエレメントの長さは実質的に不均一であり、多数のレンズエレメントのうち少なくとも長さの短いレンズエレメント(20)の入射側には、各レンズエレメントに入射すべき光束を各レンズエレメントの入射面まで伝搬させるための光導波路(21)を有する。

請求項（抜粋）：

多数のレンズエレメントからなり、入射光束を分割して前記多数のレンズエレメントと同数の光源像を形成するためのオプティカルインテグレータにおいて、前記多数のレンズエレメントの長さは実質的に不均一であり、前記多数のレンズエレメントのうち少なくとも長さの短いレンズエレメントの入射側には、各レンズエレメントに入射すべき光束を各レンズエレメントの入射面まで伝搬させるための光導波路を有することを特徴とするオプティカルインテグレータ。

IPC (4件)：

G02B 27/00 ,  G02B 3/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02B 27/00 V ,  G02B 3/00 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D