特許
J-GLOBAL ID:200903094471850012

インクジェットプリンタヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高野 明近
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-358864
公開番号(公開出願番号):特開平11-188867
出願日: 1997年12月26日
公開日(公表日): 1999年07月13日
要約:
【要約】【課題】 低温焼成が可能でかつ圧電特性に優れた圧電セラミックス材料で、インクジェットプリンタヘッドの電気-機械変換層を形成すること。【解決手段】 噴射すべき液体を保持,加圧するための凹部を有するシリコンからなる加圧室基板と、前記加圧室基板に連通するノズル板と、前記加圧室基板上に形成された、少なくとも1層以上の中間層と、さらにその上にスクリーン印刷にて形成された電極層、電気-機械変換層と電極層からなる電気-機械変換素子部から構成され、前記電気-機械変換素子を変位させることにより、前記加圧室内の液体をノズルを介して外部に噴出するインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記電気-機械変換層の酸化鉛を含む圧電セラミックスを一部水熱合成法にて作製した仮焼粉で構成する。
請求項(抜粋):
噴射すべき液体を保持、加圧するための凹部を有するシリコンからなる加圧室基板と、前記加圧室基板に連通するノズル板と、前記加圧室基板上に形成された、少なくとも1層以上の中間層と、さらにその上にスクリーン印刷にて形成された電極層、電気-機械変換層と電極層からなる電気-機械変換素子部から構成され、前記電気-機械変換素子を変位させることにより、前記加圧室内の液体をノズルを介して外部に噴出するインクジェットプリンタヘッドにおいて、前記電気-機械変換層の酸化鉛を含む圧電セラミックスが一部水熱合成法にて作製した仮焼粉から成ることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
IPC (3件):
B41J 2/045 ,  B41J 2/055 ,  H01L 41/09
FI (2件):
B41J 3/04 103 A ,  H01L 41/08 C

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