特許
J-GLOBAL ID：200903094481164214
半田ボールの電極パッドへの載置方法とその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-103290
公開番号（公開出願番号）：特開平5-299424
出願日： 1992年04月23日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 半田ボールのパッドへの載置方法と装置に関し、径が微小化された半田ボールでも各パッドに確実に搭載して生産性向上を図ることを目的とする。【構成】 基板上の各電極パッドに半田ボールを載置する半田ボールの電極パッドへの載置方法であって、半田ボールの吸引孔42a がパッドと対応して形成された状態で筐体41の下側開口面に装着されている吸着マスク42と、当接せしめた半田ボールがその表面を突出させて位置決めし得る孔44a,44b が形成され且つ該吸着マスク42に対して密着しまたは平行を保って開離し得る半田ボール離脱マスク44とを密着させた状態で、半田ボールを半田ボール離脱マスク44を介して各吸引孔42a に吸着させ、各電極パッドと対応する位置で、排気による吸着を解除すると同時に半離脱マスク44を吸着マスク42から開離させて半田ボールを対応する電極パッドに載置して構成とする。
請求項（抜粋）：
絶縁基板上の複数の電極パッドのそれぞれに半田ボールを一括して載置する半田ボールの電極パッドへの載置方法であって、半田ボールをその表面の一部で真空吸着し得る吸引孔(42a) が各電極パッドと対応する位置に形成されている状態で半田ボール吸着ヘッド(4) の排気ポート(41a) を具えた筐体(41)の下側開口面に装着されている吸着マスク(42)と、半田ボールを当接せしめたときに該半田ボールがその表面を突出させて位置決めし得る孔(44a,44b) が上記吸着マスク(42)の各吸引孔(42a) と対応する位置に形成され且つ該吸着マスク(42)に対して密着しまたは平行を保ったまま垂直方向に開離し得る手段を具えた半田ボール離脱マスク(44)とを、該半田ボール離脱マスク(44)の半田ボール表面突出面側を吸着マスク(42)と密着させた状態で半田ボールを上記排気ポート(41a) によるエアー排気で該半田ボール離脱マスク(44)を介して上記吸着マスク(42)の各吸引孔(42a) に吸着させ、絶縁基板上の各電極パッドと対応する位置で、上記排気ポート(41a) によるエアー排気を解除すると同時に半田ボール離脱マスク(44)を吸着マスク(42)から開離させて各吸引孔(42a) に吸着されている半田ボールを対応する電極パッドに載置することを特徴とした半田ボールの電極パッドへの載置方法。
IPC (3件)：
H01L 21/321
, H01L 21/60 311
, H01L 23/50
