分光測定を行なう装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中平治
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-507706
公開番号（公開出願番号）：特表平10-504898
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1998年05月12日
要約：

【要約】本発明は、光検出器のマトリクスによる干渉計方式にしたがって分光測定を行なう装置に関する。複数の干渉計が設けられており、これら干渉計が、光に対して部分透過性の平行なそれぞれ2つの鏡からなり、かつ直交マトリクスの形に配置されており、できるだけすべての干渉計の鏡が、互いに異なった間隔を有するようにし、測定すべきそれぞれ任意の波長に対して、マトリクス内にできるだけ多くの異なった反射位相位置が記録されるようにし、かつ異なった間隔が、最小と最大の間陥の間の範囲内においてできるだけ均一に分散されており、かつ干渉計の後に光検出器のマトリクス(9)が配置されており、干渉計に垂直に当たる測定すべき光(7a)を受信するために、少なくとも1つの光検出器が、それぞれの干渉計に付属しているようにし、かつスペクトルの表示のために、光検出器のマトリクス(9)の出力信号を変換する装置が設けられている。

請求項（抜粋）：

1 光検出器のマトリクスによる干渉計方式にしたがって分光測定を行なう装置において、複数の干渉計が設けられており、これら干渉計が、光に対して部分透過性の平行なそれぞれ2つの鏡からなり、かつ直交マトリクスの形に配置されており、できるだけすべての干渉計の鏡が、互いに異なった間隔を有するようにし、測定すべきそれぞれ任意の波長に対して、マトリクス内にできるだけ多くの異なった反射位相位置が記録されるようにし、かつ異なった間隔が、最小と最大の間隔の間の範囲内においてできるだけ均一に分散されており、かつ干渉計の後に光検出器のマトリクス(9)が配置されており、干渉計に垂直に当たる測定すべき光(7a)を受信するために、少なくとも1つの光検出器が、それぞれの干渉計に付属しているようにし、かつスペクトルの表示のために、光検出器のマトリクス(9)の出力信号を変換する装置が設けられていることを特徴とする、分光測定を行なう装置。2 複数の干渉計が、互いに平行に配置された2つの板(1,2)によって形成されており、これら板の互いに離れた方の側(3,4)が、平に形成されており、一方これら板の互いに向き合った方の側(5,6)が、できるだけ同じ高さの階段状に配置された段部(11)を有し、その際、一方の板(1,2)の段部の高さが、他方の板(1,2)の段部の高さとは相違しており、がつ両方の板(1,2)が、重なっており、一方の板(1,2)の段部(11)が、他方の板(1,2)の段部(11)に対して垂直に延びているようにしたことを特徴とする、請求項1記載の装置。3 一方板(1,2)における段部の高さが、他方の板(1,2)における段部の高さより、他方の板(1,2)における段部(11)の数に等しい係数だけ大きいことを特徴とする、請求項2記載の装置。4 復数の干渉計が、互いに平行に配置された2つの板(12,13)によって形成されており、第1の板(12)の両方の側(14,15)が、平に形成されており、第2の板(13)の外方に向いた側が、平に形成されており、一方第1の板(12)の方に向いた他方の側が、一方の狭い側(18)と対向する狭い側(19)との間にできるだけ同じ高さの段部(17)を備え、これら段部が、行毎に配置されており、一方の狭い側(18)における1つの行の最後の段部(17)に、他方の狭い側(19)における次の行の第1の段部が続くようになっていることを特徴とする、請求項1記載の装置。5 板(1,2,12,13)が、例えばガラス、水晶又はポリメチルメタクリレートからなることを特徴とする、前記請求項2ないし4の1つに記載の装置。6 板(1,2,12,13)の互いに向き合った側が、鏡面化されており、これら側が、測定すべき光に対して部分透過性の鏡を形成していることを特徴とする、請求項5記載の装置。7 段部(12,17)の間の間隔ジャンプが、高々測定すべき最短波長の光の1/4波長であることを特徴とする、前記請求項の1つに記載の装置。8 100×100の干渉計が、正方形マトリクスに配置されていることを特徴とする、前記請求項の1つに記載の装置。9 干渉計のマトリクスと光検出器のマトリクス(9)との間に、イメージインテンシファイア(10)が配置されていることを特徴とする、前記請求項の1つに記載の装置。

IPC (3件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02 , G01J 9/02

FI (3件)：

G01J 3/45 , G01B 9/02 , G01J 9/02

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