特許
J-GLOBAL ID：200903094497669065
2自由度振動型マイクロアクチュエータ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院計量研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078915
公開番号（公開出願番号）：特開平6-269186
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：
【要約】【目的】 電圧印加等により駆動する駆動部分と可動部分を分離して、2自由度の振動系を構成させることにより、電極間隔を狭くして低電圧駆動を可能にすると同時に、可動部分の可動範囲を確保して大振幅を得られるようにした2自由度振動型マイクロアクチュエータを提供する。【構成】 周期的外力が与えられる駆動板(電極板23)を、第1の弾性連結部材(トーションバー22)を介して固定部21で支持させ、上記駆動板に第2の弾性連結部材(トーションバー24)を介して可動板25を弾性的に結合する。これにより、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材において弾性的に変位する2自由度の振動系を形成させる。
請求項（抜粋）：
周期的外力が与えられる駆動板を、第1の弾性連結部材を介して固定部で弾性支持させ、上記駆動板に第2の弾性連結部材を介して可動板を弾性的に結合し、上記駆動板と可動板にそれぞれの弾性連結部材において弾性的に変位する2自由度の振動系を形成させたことを特徴とする2自由度振動型マイクロアクチュエータ。
IPC (3件)：
H02N 11/00
, G01N 5/02
, G02B 26/10 104
