特許
J-GLOBAL ID:200903094500429836

ガス検知装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 友松 英爾 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-112387
公開番号(公開出願番号):特開平8-278273
出願日: 1995年04月13日
公開日(公表日): 1996年10月22日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 フィルター等の付加を必要とすることなく、あらかじめ検知対象と想定した検知対象群に属するガスの存在を一つのガス検知装置で検知することのできる装置の提供。【構成】 電気絶縁性基板1、および基板上にそれぞれが独立して設けられた、あらかじめ検知対象と想定された検知対象群に属するガスの存在を検知することができる複数個のガス検知用の金属酸化物薄膜21,22,23、金属酸化物薄膜の加熱手段4および抵抗測定手段を少なくとも有するガス検知装置において、抵抗測定手段が同一の抵抗測定用電極よりなる電極対31,32により前記各金属酸化物薄膜の抵抗を測定するガス検知装置。
請求項(抜粋):
電気絶縁性基板、および該基板上にそれぞれが独立して設けられた、あらかじめ検知対象と想定された検知対象群に属するガスの存在を検知することができる複数個のガス検知用の金属酸化物薄膜、該金属酸化物薄膜の加熱手段および抵抗測定手段を少なくとも有するガス検知装置において、抵抗測定手段が同一の抵抗測定用電極よりなる電極対により前記各金属酸化物薄膜の抵抗を測定するものであることを特徴とするガス検知装置。
IPC (3件):
G01N 27/12 ,  H05B 3/00 310 ,  H05B 3/20 328
FI (3件):
G01N 27/12 B ,  H05B 3/00 310 B ,  H05B 3/20 328

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