インプリント装置およびインプリント方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-131661
公開番号（公開出願番号）：特開2004-335012
出願日： 2003年05月09日
公開日（公表日）： 2004年11月25日
要約：

【課題】凹凸パターンの破壊を招くことなく、無孔のスタンパーを樹脂層から容易に剥離し得るインプリント装置を提供する。【解決手段】その一面に凹凸部が形成されると共に可撓性を有するスタンパーSの凹凸部をディスク状基材D上のレジスト層Rに押し付けることによるその凹凸形状の転写が完了した状態のレジスト層RからスタンパーSを剥離可能に構成され、スタンパーSの他面における所定の一部分を吸引することによって一部分をレジスト層Rから剥離可能に構成された吸引手段(吸引部4、エアポンプ5および絞り機構6)を備えて、スタンパーSの一部分を吸引手段によって剥離させた状態からスタンパーSの剥離完了範囲を徐々に拡大可能に構成されている。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

その一面に凹凸部が形成されると共に可撓性を有するスタンパーの当該凹凸部を基材上の樹脂層に押し付けることによるその凹凸形状の転写が完了した状態の当該樹脂層から当該スタンパーを剥離可能に構成され、前記スタンパーの他面における所定の一部分を吸引することによって当該一部分を前記樹脂層から剥離可能に構成された吸引手段を備えて、前記一部分を前記吸引手段によって剥離させた状態から前記スタンパーの剥離完了範囲を徐々に拡大可能に構成されているインプリント装置。

IPC (1件)：

G11B7/26

FI (1件)：

G11B7/26 521

Fターム (3件)：

5D121AA02 , 5D121DD06 , 5D121DD17

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平3-042236
特開昭62-075951
特開平4-255927

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