特許

J-GLOBAL ID：200903094505725565

プローブユニット及びこれを用いた情報処理装置

発明者： 島田 康弘 ,  鈴木 義勇 ,  渡邊 信男 ,  高松 修 ,  中山 優
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-188683
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021598
出願日： 1993年07月02日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 走査型トンネル顕微鏡の手法を応用した情報処理装置に用いられるプローブユニットを提供する。【構成】 基板3上に支持された4本の梁2と、これらの連結部に形成された探針1で構成され、各々の梁2が基板面内で一様な曲線形状を有するとともに、探針1を中心として4回回転対称となるように配置されているプローブユニット。【効果】 探針を記録媒体に接触させて走査しても位置ずれがなく、更には機械的強度が大きいにもかかわらず探針が媒体に損傷を与えることがない。

請求項（抜粋）：

基板上に支持されたn個の梁(n≧2)と、該複数の梁の連結部に形成された探針によって構成されるプローブユニットであって、前記複数の梁が基板面内で一様な曲線形状を有し、かつ、該複数の梁が前記探針を中心としてn回回転対称となるように配置されていることを特徴とするプローブユニット。

IPC (3件)：

G11B 9/00 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66