力が補償されるマシンフレームを有する光リソグラフ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅村皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-383399
公開番号（公開出願番号）：特開2002-319535
出願日： 1992年03月03日
公開日（公表日）： 2002年10月31日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】マシンフレームが底面に対して揺れ、これが光リソグラフ装置の精度に悪影響を及ぼす欠点の解消。【解決手段】垂直光学主軸13を有するレンズシステム11に固定されているマシンフレームを有する光学リソグラフ装置は、基準フレーム83に固定されていてかつフィードフォワード制御システムによって制御される力アクチュエータシステム67が設けられ、位置決め装置により支持部材に同時に発生する反力の方向と反対の方向でかつ該反力の値に実質上等しい値で支持部材に補償力を発生させる。制御システムは更に加速度の負帰還を有し、これにより力アクチュエータシステムが加速度トランスデューサにより測定される支持部材3の加速度により決まる制御力を支持部材に発生させる。

請求項（抜粋）：

z方向に平行な垂直光学主軸を有するレンズ系と、位置決め装置とを具備する光リソグラフ装置であり、前記レンズ系が光リソグラフ装置のマシンフレームに固定され、前記位置決め装置によって、オブジェクトテーブルが、前記位置決め装置に結合されている支持部材のガイド面上で前記レンズ系に対して変移可能になされており、前記支持部材のガイド面が、前記z方向に対して直角に延在している構成の光リソグラフ装置において、前記光リソグラフ装置が力アクチュエータシステムを具備し、前記力アクチュエータシステムが、光リソグラフ装置の基準フレームに固定され、かつ、フィードフォワード制御システムによって制御されるようになっており、光リソグラフ装置の運転中に、前記力アクチュエータシステムが、前記位置決め装置によって前記支持部材に同時に働く反力の方向と反対方向で且つ前記反力の値と実質的に等しい値の補償力を前記マシンフレームに加えるようになっている光リソグラフ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , F16F 15/03 , F16H 21/10 , H02P 5/00 101

FI (4件)：

F16F 15/03 B , F16H 21/10 G , H02P 5/00 101 Z , H01L 21/30 503 F

Fターム (27件)：

3J048AA07 , 3J048AB11 , 3J048AC08 , 3J048AD03 , 3J048EA07 , 3J062AA28 , 3J062AB27 , 3J062AB37 , 3J062AC09 , 3J062BA14 , 3J062CB02 , 3J062CB18 , 3J062CB28 , 3J062CB33 , 3J062CB44 , 5F046AA23 , 5F046AA28 , 5F046BA03 , 5H540AA10 , 5H540BA05 , 5H540BB09 , 5H540EE05 , 5H540EE10 , 5H540EE14 , 5H540EE15 , 5H540FA03 , 5H540FA13

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-001585
特開平1-242846
特開昭63-153819

審査官引用 (3件)

特開平2-001585
特開平1-242846
特開昭63-153819

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